integrated cvd coating machine (4) Online-Hersteller
Reaktionskammer: 2 PC
Maximale Temperatur:: 1100℃
Vorläufer und Prozessgase: TiCl4、AlCl3、CH3CN、H2、N2、Ar、CH4、CO、CO2、HCl、H2S
Größe der Beschichtungsanlage: Anpassbar
Beschichtungsverfahren: Chemische Dampfdeposition (CVD)
Gesamtleistung: Ungefähr 40/50/60/80KW
Prozesstemperatur (°C): 700 bis 1050
Vorläufer und Prozessgase: Die in Anhang I der Verordnung (EG) Nr. 1907/2006 aufgeführten Verfahren gelten nicht für die Verwen
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