CVD-Beschichtungsöfen aus Siliziumkarbid für Graphit-Suppositoren oder Ätzerringe

CVD-Beschichtungsöfen aus Siliziumkarbid für Graphit-Suppositoren oder Ätzerringe

Diese Ausrüstung wird für die Ablagerung von Siliziumcarbid auf die Oberfläche von Material auf Kohlenstoffbasis/Keramikbasis verwendet, insbesondere für Halbleiterempfänger und Ätzerring.

Graphitempfänger, eine hochreine Graphitplatte mit einer kreisförmigen Rille, um das Wafer-Substrat zu befestigen.auf der Oberfläche des Substrats eine Schicht aus Kristallfilm wächst, die die Epitaxialschicht ist.

Waferprozesse wie Lithographie und Ionenimplantation werden alle auf der epitaxialen Schicht durchgeführt.Die epitaxiale Basis aus Graphit kann offensichtlich nicht den äußerst hohen Reinheitsanforderungen im Halbleiterprozess entsprechen..

Aus diesem Grund müssen wir chemische Dampfdeposition auf der Basis verwenden, um eine Schicht dichten Siliziumkarbidfilms zu wickeln.

• Konstruktionsnormen

Die Ausrüstung ist nach den Anforderungen des Qualitäts- und Technischen Aufsichtsbüros für Druckbehälter konzipiert und nach Druckprüfung und Versand qualifiziert.Die elektrische Konstruktion entspricht den nationalen Normen.

• Vorprüfung der Installation und Vorannahme

Die Ausrüstung ist vollständig in unserer Fabrik montiert, einschließlich aller Leitungen, Vakuumleitungen, Prozessgasleitungen, Kühlwasserleitungen, Druckluftleitungen usw.Vorprüfungen können nach der Installation durchgeführt werden. Am Standort des Kunden werden andere Rohrleitungen als die Ausrüstung vom Kunden bereitgestellt.Das Hauptkabel für den Anschluss des Stromkasten wird vom Kunden bereitgestellt.Nach der Montage führen wir Vakuum- und Druckleckageprüfungen an der gesamten Ausrüstung sowie mechanische und elektrische Funktionsprüfungen durch.

• Zerlegung und Transport

Die Ausrüstung wird in mehrere große Teile zerlegt, standardisiert verpackt und in das Transportfahrzeug geladen.

• Installation und Inbetriebnahme am Standort des Kunden

Der Redel-After-Sales-Ingenieur wird das Team führen, um die Inbetriebnahme, die Verbrennung von Produktversuchen und andere Arbeiten innerhalb von 20 Arbeitstagen abzuschließen.Der Kunde muss sich entsprechend vorbereiten und die notwendigen Werkzeuge bereitstellen., wie z.B. Hebe- und Hebegeräte, und die Unterstützung von Installationspersonal (es wird empfohlen, 1 mechanisches Personal und 1 Elektropersonal zu haben).

• Endgültige Annahme

Nach der Montage und Inbetriebnahme kann die Ausrüstung gemäß den Anforderungen des technischen Vertrags endgültig angenommen werden.

• Ausbildung

Unsere After-Sales-Ingenieure werden eine systematische und vollständige Ausbildung vor Ort anbieten, einschließlich Betrieb, Wartung, Fehlerbehebung usw.

• Bereitstellung technischer Daten

Zur Gewährleistung eines sicheren Betriebs und einer sicheren Wartung der Ausrüstung werden den Kunden folgende technische Daten zur Verfügung gestellt:

1. Ausstattung der Anlagen

2. Benutzerhandbuch

3. Ersatzteilliste

4Elektrische Zeichnungen

5. Komponentenhandbuch