HTCVD Silicon Carbide (CVD SIC) -Epitaxy-Wachstumsöfen

Diese Ausrüstung wird für die Beschichtung mit Siliziumkarbid von Materialien auf Kohlenstoffbasis/Keramikbasis verwendet.vor allem Ablagerung von Siliziumkarbid auf der Oberfläche des Halbleiter-Epitaxialempfängers und des Ätzerrings.

Epitaxialbasis, eine hochreine Graphitplatte mit einer kreisförmigen Rille, um das Wafer-Substrat zu befestigen.Nachdem sie in den Ofen gelegt wurden, wächst auf der Oberfläche des Substrats eine Schicht aus Kristallfolie, die Epitaxialschicht.Waferprozesse wie Lithographie und Ionenimplantation werden alle auf der epitaxialen Schicht durchgeführt.

Die epitaxiale Basis aus Graphit kann offensichtlich nicht den extrem hohen Reinheitsanforderungen im Halbleiterprozeß entsprechen.Aus diesem Grund müssen wir chemische Dampfdeposition auf der Basis verwenden, um eine Schicht dichten Siliziumkarbidfilms zu wickeln.

Optionale Konfiguration

1. Öffnungsstange: Schraub-/hydraulisch-/handgefertigter Typ; Schaukelöffnung/parallele Öffnung ((große Öffnungsstange); handgefertigt/automatisch verschlossen
2. Ofenbehälter: aus Kohlenstoffstahl/inneren Schicht aus rostfreiem Stahl/aus rostfreiem Stahl
3- Heizzone des Ofen: weiches Kohlenstofffilz/weiches Graphitfilz/starres Verbundfilz/CFC
4- Heizelement und Schleuder: isostatisches Druckgraphit/graphitisches Graphit hoher Reinheit, Festigkeit und Dichte/graphitisches Graphit feiner Größe
5. Prozessgassystem: Volumen-/Massendurchflussmesser;
6. Thermoelement: Typ K/N-Typ/C-Typ/S-Typ

• Konstruktionsnormen

Die Ausrüstung ist nach den Anforderungen des Büros für Qualitäts- und Technische Aufsicht an Druckbehälter konzipiert und nach Druckprüfung und Versand qualifiziert.Die elektrische Konstruktion entspricht den nationalen Normen.

• Vorprüfung der Installation und Vorannahme

Die Ausrüstung ist vollständig in unserer Fabrik montiert, einschließlich aller Rohrleitungen, Vakuum-Rohrleitungen, Prozessgas-Rohrleitungen, Kühlwasser-Rohrleitungen, Druckluft-Rohrleitungen usw.Vorprüfungen können nach der Installation durchgeführt werden. Am Standort des Kunden werden andere Rohrleitungen als die Ausrüstung vom Kunden bereitgestellt.Das Hauptkabel für den Anschluss des Stromkasten wird vom Kunden bereitgestellt.Nach der Installation führen wir Vakuum- und Druckleckageprüfungen an der gesamten Ausrüstung sowie mechanische und elektrische Funktionsprüfungen durch.

• Zerlegung und Transport

Die Ausrüstung wird in mehrere große Teile zerlegt, standardisiert verpackt und in das Transportfahrzeug geladen.

• Installation und Inbetriebnahme am Standort des Kunden

Der Redel-After-Sales-Ingenieur wird das Team führen, um die Inbetriebnahme, die Verbrennung von Produktversuchen und andere Arbeiten innerhalb von 20 Arbeitstagen abzuschließen.Der Kunde muss sich entsprechend vorbereiten und die notwendigen Werkzeuge bereitstellen., wie z.B. Hebe- und Hebegeräte, und die Unterstützung des Installationspersonals (es wird empfohlen, 1 mechanisches Personal und 1 Elektropersonal zu haben).

• Endgültige Annahme
Nach der Montage und Inbetriebnahme kann die Ausrüstung gemäß den Anforderungen des technischen Vertrags endgültig angenommen werden.

• Ausbildung
Unsere After-Sales-Ingenieure werden eine systematische und vollständige Ausbildung vor Ort anbieten, einschließlich Betrieb, Wartung, Fehlerbehebung usw.

• Bereitstellung technischer Daten

Zur Gewährleistung eines sicheren Betriebs und einer sicheren Wartung der Ausrüstung werden den Kunden folgende technische Daten zur Verfügung gestellt:

1. Ausstattung der Anlagen
2. Benutzerhandbuch
3. Ersatzteilliste
4Elektrische Zeichnungen
5. Komponentenhandbuch

Häufig gestellte Fragen

Sind Sie eine Fabrik oder Handelsgesellschaft?

F: Sind Sie eine Fabrik oder Handelsgesellschaft?
A: Wir sind der führende Hersteller von Hochtemperatur-Vakuumöfen in China mit mehr als 10 Jahren Erfahrung.

Haben Sie Anpassungs- oder OEM-Dienst?

F: Haben Sie Anpassungs- oder OEM-Dienstleistungen?
A:Ja, wir haben ein leistungsfähiges F&E-Team und Hightech-Ausrüstung. Wir können also nicht nur das normale Modell liefern, sondern auch den anpassbaren Ofen als Ersatz für unsere Kunden.

Was ist dein Vorteil?

F: Was ist Ihr Vorteil?
A:

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