HTCVD Silicon Carbide (CVD SIC) -Epitaxy-Wachstumsöfen

Diese Ausrüstung wird für die Beschichtung mit Siliziumkarbid von Materialien auf Kohlenstoffbasis/Keramikbasis verwendet.vor allem Ablagerung von Siliziumkarbid auf der Oberfläche des Halbleiter-Epitaxialempfängers und des Ätzerrings.

Die Beschichtungsrate ist für nachgelagerte Abnehmer ein sehr wichtiger Indikator, der direkt mit der Produktionskapazität der Ausrüstung zusammenhängt.Unsere Ausrüstung kann eine Ablagerungsrate von 50 Mikrometern pro Stunde erreichen., und kann auch mit einer schnellen Kühlung ausgestattet werden, was die Produktionszeit erheblich verkürzt.

Technische Merkmale

1- Verwendung mehrerer Temperaturkontrollzonen, hohe Temperaturgleichheit;

2. Speziell konstruierte Ablagerungskammer mit guter Dichtungseffekt und hoher Antikontaminationsleistung;

3- Verwendung mehrerer Ablagerungskanäle mit gleichmäßigen Gasströmen, ohne Ablagerungs-Todwinkel und perfekte Ablagerungsoberfläche;

4Es hat eine Behandlung für Teer, Feststaub und organische Gase während des Ablagerungsprozesses

• Konstruktionsnormen

Die Ausrüstung ist nach den Anforderungen des Büros für Qualitäts- und Technische Aufsicht an Druckbehälter konzipiert und nach Druckprüfung und Versand qualifiziert.Die elektrische Konstruktion entspricht den nationalen Normen.

• Vorprüfung der Installation und Vorannahme

Die Ausrüstung ist vollständig in unserer Fabrik montiert, einschließlich aller Rohrleitungen, Vakuum-Rohrleitungen, Prozessgas-Rohrleitungen, Kühlwasser-Rohrleitungen, Druckluft-Rohrleitungen usw.Vorprüfungen können nach der Installation durchgeführt werden. Am Standort des Kunden werden andere Rohrleitungen als die Ausrüstung vom Kunden bereitgestellt.Das Hauptkabel für den Anschluss des Stromkasten wird vom Kunden bereitgestellt.Nach der Installation führen wir Vakuum- und Druckleckageprüfungen an der gesamten Ausrüstung sowie mechanische und elektrische Funktionsprüfungen durch.

• Zerlegung und Transport

Die Ausrüstung wird in mehrere große Teile zerlegt, standardisiert verpackt und in das Transportfahrzeug geladen.

• Installation und Inbetriebnahme am Standort des Kunden

Der Redel-After-Sales-Ingenieur wird das Team führen, um die Inbetriebnahme, die Verbrennung von Produktversuchen und andere Arbeiten innerhalb von 20 Arbeitstagen abzuschließen.Der Kunde muss sich entsprechend vorbereiten und die notwendigen Werkzeuge bereitstellen., wie z.B. Hebe- und Hebegeräte, und die Unterstützung des Installationspersonals (es wird empfohlen, 1 mechanisches Personal und 1 Elektropersonal zu haben).

• Endgültige Annahme
Nach der Montage und Inbetriebnahme kann die Ausrüstung gemäß den Anforderungen des technischen Vertrags endgültig angenommen werden.

• Ausbildung
Unsere After-Sales-Ingenieure werden eine systematische und vollständige Ausbildung vor Ort anbieten, einschließlich Betrieb, Wartung, Fehlerbehebung usw.

• Bereitstellung technischer Daten

Zur Gewährleistung eines sicheren Betriebs und einer sicheren Wartung der Ausrüstung werden den Kunden folgende technische Daten zur Verfügung gestellt:

1. Ausstattung der Anlagen
2. Benutzerhandbuch
3. Ersatzteilliste
4Elektrische Zeichnungen
5. Komponentenhandbuch

Häufig gestellte Fragen

Sind Sie eine Fabrik oder Handelsgesellschaft?

F: Sind Sie eine Fabrik oder Handelsgesellschaft?
A: Wir sind der führende Hersteller von Hochtemperatur-Vakuumöfen in China mit mehr als 10 Jahren Erfahrung.

Haben Sie Anpassungs- oder OEM-Dienst?

F: Haben Sie Anpassungs- oder OEM-Dienstleistungen?
A:Ja, wir haben ein leistungsfähiges F&E-Team und Hightech-Ausrüstung. Wir können also nicht nur das normale Modell liefern, sondern auch den anpassbaren Ofen als Ersatz für unsere Kunden.

Was ist dein Vorteil?

F: Was ist Ihr Vorteil?
A:

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