Herkunftsort:
China
Markenname:
Ruideer
Zertifizierung:
CE
Modellnummer:
630.530.430
Chemische Dampfdeposition-Beschichtungsöfen mit TiCL4, AICL3-Vorläufern und Prozessgasen
Die CVD-Beschichtungsmaschine ist eine hochmoderne Vakuumbeschichtungstechnik, bei der chemische Ablagerungsgeräte eingesetzt werden, um eine dünne Schicht Material auf die Oberfläche eines Substrats abzulegen.Diese Art von Oberflächenbeschichtungsanlagen bietet eine große Bandbreite an Beschichtungsgeschwindigkeiten., von 0,1 bis 2,0 m/min. Er sorgt außerdem für einen präzisen und gleichmäßigen Beschichtungsdruck mit einer Druckstabilität von -±2mbar.die eine stabile Substrattemperatur für optimale Beschichtungsergebnisse gewährleistet. Der gesamte Prozess wird durch ein PLC-System gesteuert, das eine präzise Beschichtungsdicke und Gleichmäßigkeit gewährleistet.
Die Unterschiede zwischen ALD- und CVD-Prozessen:
ALDist eine chemische Dampfdepositionstechnik, die auf einer selbstbegrenzenden Oberflächenreaktion beruht
Depositionsfilme eine atomare Schicht nach der anderen
Erfordern niedrigere Temperaturen
Nützlich bei der Herstellung von Halbleitern und integrierten Schaltungen, Dünnschicht-Solarzellen und bei der Herstellung von Hochleistungsbeschichtungen für optische Komponenten.
Herz-Kreislauf-Erkrankungenist eine weit verbreitete Materialverarbeitungstechnologie, bei der durch eine chemische Reaktion von Gasphasenvorläufern auf einem erhitzten Substrat dünne Folien gebildet werden.
Folien mit einem breiteren Dickenbereich
Höhere Temperaturen erforderlich
Es wird in Bereichen wie Optik, Mikroelektronik und Materialwissenschaften verwendet, wo es bei der Herstellung von dünnen Filmen und Beschichtungen für elektronische Geräte hilft, die Beschichtung von Linsen und Spiegeln,und die Synthese verschiedener Materialien.
| Ausrüstungsmodell | CVD430 bis 1250 | CVD430-1600 | CVD530 bis 1250 | CVD530-1600 | CVD630 bis 1250 | CVD630-1600 |
| Wirkungsbereich ((mm) | Φ400X1250 | Φ400X1600 | Φ500X1250 | Φ500X1600 | Φ600X1200 | Φ600X1600 |
| Heizleistung ((KW) | 39 | 48 | 45 | 55 | 65 | 80 |
| Menge der Heizfläche | 4 | 5 | 4 | 5 | 4 | 5 |
| Ausrüstungsabdruck ((mm) | 6000*5800*4800 | 6000*5800*5100 | 6500*6000*4800 | 6500*6000*5100 | 7200*6200*4800 | 7200*6200*5100 |
| Prozesstemperatur(°C) | 700 bis 1050 | |||||
| Vorläufer und Prozessgase | TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2HCI, H2S | |||||
| Beschichtungsarten | TiC,TiN,TiCN,a-AL2O3K-AI2O3 | |||||
| Zusätzliche Ausstattung |
1. Gasneutralisierer ausgeschaltet (einschließlich Evakuiergerät); 2. Gasverteiler zweiter Stufe (einschließlich Rohrleitungen); 3. Tankstellen (einschließlich Rohrleitungen) |
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• Konstruktionsnormen
Die Ausrüstung ist nach den Anforderungen des Büros für Qualitäts- und Technische Aufsicht an Druckbehälter konzipiert und nach Druckprüfung und Versand qualifiziert.Die elektrische Konstruktion entspricht den nationalen Normen.
• Vorprüfung der Installation und Vorannahme
Die Ausrüstung ist vollständig in unserer Fabrik montiert, einschließlich aller Rohrleitungen, Vakuum-Rohrleitungen, Prozessgas-Rohrleitungen, Kühlwasser-Rohrleitungen, Druckluft-Rohrleitungen usw.Vorprüfungen können nach der Installation durchgeführt werden. Am Standort des Kunden werden andere Rohrleitungen als die Ausrüstung vom Kunden bereitgestellt.Das Hauptkabel für den Anschluss des Stromkasten wird vom Kunden bereitgestellt.Nach der Installation führen wir Vakuum- und Druckleckageprüfungen an der gesamten Ausrüstung sowie mechanische und elektrische Funktionsprüfungen durch.
• Zerlegung und Transport
Die Ausrüstung wird in mehrere große Teile zerlegt, standardisiert verpackt und in das Transportfahrzeug geladen.
• Installation und Inbetriebnahme am Standort des Kunden
Der Redel-After-Sales-Ingenieur wird das Team führen, um die Inbetriebnahme, die Verbrennung von Produktversuchen und andere Arbeiten innerhalb von 20 Arbeitstagen abzuschließen.Der Kunde muss sich entsprechend vorbereiten und die notwendigen Werkzeuge bereitstellen., wie z.B. Hebe- und Hebegeräte, und die Unterstützung des Installationspersonals (es wird empfohlen, 1 mechanisches Personal und 1 Elektropersonal zu haben).
• Endgültige Annahme
Nach der Montage und Inbetriebnahme kann die Ausrüstung gemäß den Anforderungen des technischen Vertrags endgültig angenommen werden.
• Ausbildung
Unsere After-Sales-Ingenieure werden eine systematische und vollständige Ausbildung vor Ort anbieten, einschließlich Betrieb, Wartung, Fehlerbehebung usw.
• Bereitstellung technischer Daten
Zur Gewährleistung eines sicheren Betriebs und einer sicheren Wartung der Ausrüstung werden den Kunden folgende technische Daten zur Verfügung gestellt:
1. Ausstattung der Anlagen
2. Benutzerhandbuch
3. Ersatzteilliste
4Elektrische Zeichnungen
5. Komponentenhandbuch
Häufig gestellte Fragen
F: Sind Sie eine Fabrik oder Handelsgesellschaft?
A: Wir sind der führende Hersteller von Hochtemperatur-Vakuumöfen in China mit mehr als 10 Jahren Erfahrung.
F: Haben Sie Anpassungs- oder OEM-Dienstleistungen?
A:Ja, wir haben ein leistungsfähiges F&E-Team und Hightech-Ausrüstung. Wir können also nicht nur das normale Modell liefern, sondern auch den anpassbaren Ofen als Ersatz für unsere Kunden.
F: Was ist Ihr Vorteil?
A:
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