Workingspace: 12-1000L
Max. ArbeitsdruckMax. Arbeitsdruck ((MPA): 1、2、6、10、20
Max.Betriebstemperatur: 1300°C
Betriebstemperatur: 1200℃
Verpackung Informationen: Holzgehäuse
Lieferzeit: 5-6 Monate
Heizzone: einzeln/doppelt/multi
Temperaturmessung: W-Re 5/26 Thermoelement + Infrarot-Pyrometer
Größe: Individualisiert
Eingangsgas: N2,Ar,H2
Maximum static pressure: 1500/2100/2300℃
Dimension of constant temperature zone: Ф160x160 mm/Ф160x200 mm
Max.Betriebstemperatur ((°C): 1300
Temperature uniformity(℃): ≤±3
Max. Arbeitszeit.: 1800℃
Max.working-Druck: 9.8bar
Process temperature((℃): 700-1050
Precursors and process gases: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
Abkühlzeit: ≤1h/4h/5h/6h/8h ((Leere Öfen,Kühlung durch Sintern Temperatur 1450-100°C) Wassertemperatur ≤26°C,Was
Größe: Individualisiert
Beschichtungssubstrate: Metall, Keramik, Glas usw.
Beschichtungshaftung: Stärker
Vorläufer und Prozessgase: TiCl4、AlCl3、CH3CN、H2、N2、Ar、CH4、CO、CO2、HCl、H2S
Größe der Beschichtungsanlage: Anpassbar
Beschichtungsverfahren: Chemische Dampfdeposition (CVD)
Gesamtleistung: Ungefähr 40/50/60/80KW
Gesamtleistung: Ungefähr 40/50/60/80KW
Beschichtungssubstrate: Metall, Keramik, Glas usw.
Abkühlzeit: ≤1h/4h/5h/6h/8h ((Leere Öfen,Kühlung durch Sintern Temperatur 1450-100°C) Wassertemperatur ≤26°C,Was
Höchsttemperatur: 2000℃
Vorläufer und Prozessgase: TiCl4、AlCl3、CH3CN、H2、N2、Ar、CH4、CO、CO2、HCl、H2S
Beschichtungssubstrate: Metall, Keramik, Glas usw.
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